【信息公示】| 电子束曝光机采购需求公示
Release Time：
2026-06-05
Source：
电子束曝光机采购需求公示
采购单位 | 南方工业技术研究院（深圳） |
项目名称 | 电子束曝光机 |
预算金额（万元） | 1630万元 |
采购品目 | 电气物理设备 |
采购需求概况 | 设备用于微纳器件的高精度图形制备与工艺过程控制，可实现纳米级分辨率光刻加工；具备高端的图形制备功能及加工过程可视化指引，支持复杂结构与大面积图形的制备需求，满足微纳制造相关学科未来发展需要。 |
联系人 | 许老师 |
联系方式 | 电话：0755-23306690 邮箱：cgzy@siitsz.com |
预计采购时间 | 2026年6月 |
备注 | 无 |
本项目的采购意向及后续采购公告具体信息在深圳市交易集团官网 --【交易公告】模块发布。
深圳市交易集团官网（https://www.szexgrp.com/jyfw/details.html?contentId=20370347&channelId=2850&crumb=zfcg）
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Co-construction unit：People's Government of Baoan District Southern University of Science and Technology
Link：Industry and Information Technology Bureau of Shenzhen Municipality Bao'an District Bureau of Industry and Information Technology Shenzhen Science and Technology Innovation Committee Bao'an District Science and Technology Innovation Bureau The Hong Kong Polytechnic University
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